Sistema multisensor para detección de gases en atmósferas agresivas
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Getino, J. [1] ; Gutiérrez, J. [1] ; Arés, L. [1] ; Robla, J.I. [1] ; Sayago, I. [1] ; Horrillo, M.C. [1] ; García, C. [1]
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[1] Laboratorio de Sensores, Madrid
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- Localización: Boletín de la Sociedad Española de Cerámica y Vidrio, ISSN 0366-3175, Vol. 34, Nº. 5-6, 1995, págs. 474-478
- Idioma: español
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Resumen
Se ha desarrollado un multisensor basado en semiconductores para la detección y el análisis de gases tóxicos en atmósferas con bajos contenidos de oxígeno y en presencia de humedad y gases corrosivos. El dispositivo consta de 16 elementos sensores discretos formados por películas delgadas de óxido del estaño depositadas por pulverización catódica. El multisensor fue expuesto a una mezcla gaseosa formada por N2, O2, CO2, H2S, HE, HCl y vapor de agua con un flujo constante de 500 mi/min. Una vez estabilizada la resistencia eléctrica de los distintos elementos a temperaturas entre 150-350 °C, se estudió la respuesta a varios gases contaminantes procedentes de los procesos de combustión (C6H6, SO2, NOx). A bajas temperaturas, las respuestas obtenidas para los gases reductores mostraron una dependencia con la raiz cuadrada de la concentración, mientras que para el NO, la sensibilidad es proporcional al cuadrado de la concentración.