广科智能
广州市广科智能技术有限公司成立于2017年,专注半导体、光电显示、光伏、储能领域,精通生产设备的改造、维修、保养,尤其是玻璃基板移载机器人、晶圆移载机器人以及真空机器人方面,我司有从事软硬体十年以上工作经验人才,对Nidec-Sankyo、YASKAWA、Hyundai、DAIHEN、Brooks、ROBOSTAR、RORZE、Kawasaki、JEL、SAMSUNG、Genmark、TAZMO等机器人有着丰富的实战经验。
广科工程队熟悉半导体显示(TFT-LCD 液晶显示、OLED有机发光显示、Mini LED直显、 Micro LED)的各种工艺,尤其是薄膜沉积(CVD/PVD)、光刻刻蚀、清洗、RGB色阻涂布、贴合、灌晶、薄化、偏光片贴附、驱动芯片绑定等需要机器人转运基板的工序。
广科工程队熟悉芯片产线的工艺,尤其是薄膜沉积、刻蚀、光刻、离子注入、扩散/退火、化学清洗、量测与检测、FOUP晶圆盒传输、晶圆减薄/研磨、晶圆划片/切割、晶圆贴膜/撕膜等需机器人转运晶圆的工序。
广科拥有 AMHS 自动化物料搬运系统维修保养及改造的专业团队,长期为大福、村田、新盛、盟立、SFA 等国际主流 STK、LIFTER、IDX、DSPK 设备提供改造、维修、保养服务。与多家主流 AMHS 厂商有这多年的稳定合作关系。